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題名 | 半導體製程之全氟化物控制技術=On Reduction of PFC Emissions from Semiconductor Manufacturing Processes |
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作者 | 呂榮峰; 吳關佑; 張木彬; Lu, Reng-feng; Wu, Kuan-yu; Chang, Moo-been; |
期刊 | 國立中央大學環境工程學刊 |
出版日期 | 200206 |
卷期 | 8 2002.06[民91.06] |
頁次 | 頁143-157 |
分類號 | 445.6 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 全氟化物; 地球溫暖化; 破壞削減法; PFCs; Global warming; Abatement techniques; |