查詢結果分析
來源資料
相關文獻
- TFT有機低介電感光材料技術
- 低介電材料應用在高開口率液晶顯示器製程與電性之探討
- The Effect of Ammonia Plasma Treatment on Low-k Methyl-Hybrido-Silsesquioxane (MHSQ) Against Photoresist Stripping Damage
- 低介電常數有機光阻之應用
- SU-8厚膜光阻於微系統UV-LIGA製程的應用
- 光阻曝光後延遲烘烤對線寬影響之分析與討論
- ROMP技術於深紫外光阻之潛在應用
- LCD濾光板用彩色光阻
- 內藏式電容高介電常數材料
- Evaluation of Lithographic Performance of Chemically Amplified Deep-UV Resist
頁籤選單縮合
題 名 | TFT有機低介電感光材料技術 |
---|---|
作 者 | 林松香; 李榮哲; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 183 2002.03[民91.03] |
頁 次 | 頁153-160 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 奈米級微氣孔; 介電常數; 光阻; 高開口率; Nano-porous; Dielectric constant; Photoresist; Aperture ratio; |
語 文 | 中文(Chinese) |