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題名 | The Zeroth Order Solution of the Velocity Field around Micro Comb Structures with Lateral Oscillation=半導體微型加速度計梳狀結構之流場阻尼分析 |
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作者 | 李其源; 楊龍杰; 陳炳煇; Lee, Chi-yuan; Yang, Lung-jieh; Chen, Ping-hei; |
期刊 | 中國工程學刊 |
出版日期 | 200201 |
卷期 | 25:1 2002.01[民91.01] |
頁次 | 頁57-65 |
分類號 | 448.552 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 阻尼比; 微梳狀結構; 微機電系統; Damping ratio; Micro comb structure; Micro-electro-mechanical systems; MEMS; |