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來源資料
機械工業
222 2001.09[民90.09]
頁230-241
電機工程
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適應控制系統
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題名
半導體廠自動化之通訊協定SECSⅠ/Ⅱ&GEM
作者
李文猶
;
陳玉雲
;
蔡嘉鴻
;
書刊名
機械工業
卷期
222 2001.09[民90.09]
頁次
頁230-241
專輯
半導體設備技術專輯
分類號
448.945
關鍵詞
電腦整合製造
;
半導體機臺通訊標準
;
半導體設備與材料國際聯盟
;
生產設備通用通訊模組
;
CIM
;
SECS
;
SEMI
;
GEM
;
語文
中文(Chinese)
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