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| 題 名 | 單晶片旋轉蝕刻清洗設備系統軟體開發 |
|---|---|
| 作 者 | 陳家銘; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 222 2001.09[民90.09] |
| 頁 次 | 頁180-190 |
| 專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
| 分類號 | 448.552、448.552 |
| 關鍵詞 | 室溫清洗; 晶圓個別處理; 單一化介面; Room temperature cleaning; Process by wafer; Unified interface; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |