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來源資料
金屬工業
35:5 民90.09-10
頁100-111
電機工程
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題 名
微機電系統技術之基本概述
作 者
邱先拿
;
書刊名
金屬工業
卷 期
35:5 民90.09-10
頁 次
頁100-111
分類號
448.57
關鍵詞
微機電系統技術
;
語 文
中文(Chinese)
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