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| 題 名 | 高速熱處理的晶圓穩態熱流分析=Steady-state Analysis of Heat Transfer and Fluid Flow During Rapid Thermal Processing |
|---|---|
| 作 者 | 卓統民; 林育才; | 書刊名 | 技術學刊 |
| 卷 期 | 16:2 2001.06[民90.06] |
| 頁 次 | 頁345-352 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 高速熱處理; 晶圓溫度均勻性; 計算流力與熱傳; Rapid thermal processing; Wafer temperature uniformity; Computational fluid dynamics and heat transfer; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |