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| 題 名 | NDL自動排氣監測系統 |
|---|---|
| 作 者 | 吳世全; 林永彬; 湯新達; 蘇恆立; 謝心色; | 書刊名 | 國科會國家毫微米元件實驗室通訊 |
| 卷 期 | 8:1 2001.02[民90.02] |
| 頁 次 | 頁23-28 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 半導體製程; NDL自動排氣監測系統; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本系統主要在建立排氣管路靜壓與其溫度之監測,藉著對管路靜壓的監測可以掌握管路阻塞與靜壓平衡被改變之情形,進而在最短的時間內協助清除粉塵、調整擋板以恢復其穩定,避免造成製程不良率之提高,也可減少毒氣外及火災爆炸的危險。且收集以往較欠缺的排氣系統和製程間之關係,及排氣系統設備(如burning-box等)效率等的資料;藉著排氣監測系統的建立,可持續收集排氣管路靜壓資料且分析研究,而釐清靜壓變化和管路排放特性的關係,並正確的預知危險及改善半導體之製程。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。