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題名 | 離子濺鍍法成長矽碳氮薄膜及其機械性質研究=Ion Beam Sputtered Growth and Mechanical Properties of SiCN Films |
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作者 | 王春田; 馬廣仁; 陳貴賢; 柯琪; 林麗瓊; Wang, C. T.; Ma, K. J.; Chen, K. H.; Chen, L. C.; Kichambare, P. D.; |
期刊 | 材料科學與工程 |
出版日期 | 200103 |
卷期 | 33:1 2001.03[民90.03] |
頁次 | 頁38-43 |
分類號 | 448.532 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 毫微米壓痕; 殘留壓應力; 外加輔助的氮離子源; Nano-indentation; Residual stress; N atom source; |