頁籤選單縮合
題 名 | 離子濺鍍法成長矽碳氮薄膜及其機械性質研究=Ion Beam Sputtered Growth and Mechanical Properties of SiCN Films |
---|---|
作 者 | 王春田; 馬廣仁; 陳貴賢; 柯琪; 林麗瓊; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 33:1 2001.03[民90.03] |
頁 次 | 頁38-43 |
分類號 | 448.532 |
關鍵詞 | 毫微米壓痕; 殘留壓應力; 外加輔助的氮離子源; Nano-indentation; Residual stress; N atom source; |
語 文 | 中文(Chinese) |