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來源資料
電子月刊
7:3=68 2001.03[民90.03]
頁170-186
精密機械工藝
>
測定儀器
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匯出書目
題名
MEMS矽微熱元件剪應力計之分析、設計、製作暨應用=
作者
全湘偉
;
蔣作群
;
許寶慧
;
期刊
電子月刊
出版日期
200103
卷期
7:3=68 2001.03[民90.03]
頁次
頁170-186
分類號
471.3
語文
chi
關鍵詞
矽微熱元件剪應力計
;
MEMS
;
頁籤選單縮合
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