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題 名 | 應用於平面顯示器之ITO透明電極 |
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作 者 | 陳柏菁; | 書刊名 | 光訊 |
卷 期 | 85 2000.08[民89.08] |
頁 次 | 頁27-30 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 平面顯示器; 透明電極材料; ITO; Indium tin oxide; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本篇文章中將介紹ITO (Indium Tin Qxide)透明電極之物理特性,導電機制,製 作方法以及就影響其特性之製程參數做討論。 對 ITO 膜特性之要求也將做描述。對於廣泛 使用於製造 ITO 膜之濺鍍法 (Sputtering),文中有基礎性的介紹。最後針對製程參數方面 ,將分別探討溫度,放電電壓,氣體相成及靶材材料等對 ITO 膜特性之影響。 藉由本文希 望能給予讀者有關 ITO 薄膜電極的基本概念。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。