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題 名 | 先進半導體製程控制技術簡介 |
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作 者 | 張耀仁; 黃建榮; 張少貢; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 210 2000.09[民89.09] |
頁 次 | 頁236-241 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 先進半導體製程控制; 故障偵測與分類; 每批次製程控制; Advanced process control; Fault detection and classification; Run-to-run control; |
語 文 | 中文(Chinese) |