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題名 | 覆晶機取放機構設計分析 |
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作者 | 林知明; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 210 2000.09[民89.09] |
頁次 | 頁117-130 |
專輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 覆晶黏晶機; 有限元素分析; 線性馬達; 靜態分析; 動態分析; Flip chip bonder; FEA; Linear motor; Static analysis; Dynamic analysis; |
語文 | 中文(Chinese) |