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來源資料
電子月刊
3:4=21 1997.04[民86.04]
頁90-95
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題 名
物理氣相沉積
作 者
邱興邦
;
書刊名
電子月刊
卷 期
3:4=21 1997.04[民86.04]
頁 次
頁90-95
專 輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.57
關鍵詞
Physical vapor deposition
;
PVD
;
物理氣相沉積
;
語 文
中文(Chinese)
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