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題 名 | 超薄介電層非接觸性特性分析 |
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作 者 | Roy,P. K.; Chacon,C.; Ma,Y.; KizilyalliI.C.; Horner,G.S.; Verkuil,R.L.; Miller,T.G.; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 6:3=56 2000.03[民89.03] |
頁 次 | 頁142-146 |
專 輯 | 電子測試專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 超薄介電層; 非接觸性; |
語 文 | 中文(Chinese) |