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微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術:Inductively Coupled Plasma Equipment and Technology in MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁17-24
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
7:1=66 2001.01[民90.01]
- 頁 次:
頁114-122
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
191 2002.02[民91.02]
- 頁 次:
頁164-172
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
191 2002.02[民91.02]
- 頁 次:
頁173-179
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
191 2002.02[民91.02]
- 頁 次:
頁186-197
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
1:1=1 1995.08[民84.08]
- 頁 次:
頁56-57
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
173 1997.08[民86.08]
- 頁 次:
頁116-125
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
44:3 2003.03[民92.03]
- 頁 次:
頁45-54
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
11:4=126 2003.04[民92.04]
- 頁 次:
頁17-29
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- 題 名:
電磁式平面微電感的製作與應用:Fabrication and Application of Magnetic Micro Planar Inductor
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24:1=129 2002.08[民91.08]
- 頁 次:
頁5-12
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:7=96 2003.07[民92.07]
- 頁 次:
頁134-142
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
83 2003.10[民92.10]
- 頁 次:
頁17-25
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
141 2003.07[民92.07]
- 頁 次:
頁82-84+86
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
142 2003.08[民92.08]
- 頁 次:
頁72-74+76+78+80+82-83
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
215 2003.01[民92.01]
- 頁 次:
頁121-125
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- 題 名:
面型微加工技術製作之電熱式致動器:Study on Surface Micromachined Electrothermal Actuators
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24:4=132 2003.02[民92.02]
- 頁 次:
頁25-33
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24:4=132 2003.02[民92.02]
- 頁 次:
頁42-53
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
116 2003.02[民92.02]
- 頁 次:
頁37-47
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
115 2003.01[民92.01]
- 頁 次:
頁21-22