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題 名:
矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
10:2 2003.05[民92.05]
- 頁 次:
頁43-48