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以微波輔助化學氣相沉積法成長多晶鑽石薄膜的成長機制:The Growth Mechanism of Polycrystalline Thin-Film Diamond Fabricated by Microwave Assisted Chemical Vapor Deposition
李世鴻 陳正哲 蕭鴻貴 朱聖緣 陳勝利 Lee, Shih-fong; Chen, Jeng-jer; Hsiao, Hung-kuei; Chu, Sheng-yuan; Chen, Shen-li;
大葉學報
7:1 1998.12[民87.12]
頁123-128
TCI引用統計