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新鍍膜技術--高功率脈衝磁控濺射之介紹及研發:Introduction and Study of New Coating Technology--High Power Impulse Magnetron Sputtering
吳錦裕 梁文龍 艾啟峰 Wu, Jin-yu; Liung, Wen-lung; Ai, Chi-fong;
真空科技
22:4 2009.12[民98.12]
頁24-33
TCI引用統計