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題 名:
反應性直流磁控濺鍍製程之PID穩定控制研究:The Stability of PID Control for DC Reactive Magnetron Sputtering Processes
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
32:3 2019.09[民108.09]
- 頁 次:
頁24-30
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題 名:
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題 名:
模糊類神經-PID控制器於龍門系統之應用研究:Application of FNN-PID Controller for Gantry System
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
34 2019.12[民108.12]
- 頁 次:
頁9-16+164
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題 名: