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題 名:
矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18:3 2000.06[民89.06]
- 頁 次:
頁325-397
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
35 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁15113-15140
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題 名:
微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術:Inductively Coupled Plasma Equipment and Technology in MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁17-24
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁25-31