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以射頻磁控濺鍍法製備高介電鈦酸鍶鋇薄膜應用於動態隨機存取記憶體之研究:Eabrication and Characterization of High Dielectric (Ba, Sr) TiO[feb0]Thin Film Using RF Magnetron Sputtering for Dynamic Random Access Memory Application
李建興 魏慕慈 張守進 Lee, J. S.; Wei, M. C.; Chang, S. J.;
真空科技
13:3 2000.09[民89.09]
頁19-25
TCI引用統計