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Fabricating δ-doped Layers by Ultra-High Vacuum Chemical-Vapor Deposition and Its Applications in FET:以超高真空化學汽相沈積法成長δ摻雜層及其應用於場效電晶體
吳三連 簡培偉 張守進 Wu, S. L.; Chien, P. W.; Chang, S. J.;
真空科技
13:3 2000.09[民89.09]
頁4-11
TCI引用統計