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題 名:
微波電漿化學氣相法沈積SiNC硬膜及其特性分析:Growth and Characterization of SiNC Hard Film by MPCVD
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
14:2 2001.07[民90.07]
- 頁 次:
頁27-33
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題 名: