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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:3 2002.08[民91.08]
- 頁 次:
頁24-32
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題 名:
比較CF[feb2]/C[feaf]H[feaf]及CF[feb2]/C[feaf]H[feb8]電漿製備低介電材料氟化非晶碳膜之研究:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:4 2002.11[民91.11]
- 頁 次:
頁33-37
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題 名: