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利用I-line雙重微影成像法製作多晶矽鰭式場效電晶體(FinFET):Fabrication of Poly-Si FinFETs with I-line Double Patterning Technique
周涵宇 林政頤 林鴻志 黃調元
奈米通訊
19:2 2012.06[民101.06]
頁11-14
TCI引用統計