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題 名:
矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
75 2001.09[民90.09]
- 頁 次:
頁58-64
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
70 2000.06[民89.06]
- 頁 次:
頁10-16
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
62 1998.06[民87.06]
- 頁 次:
頁24-28
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
246 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁23-28
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
79 2002.09[民91.09]
- 頁 次:
頁63-72
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題 名:
n-型(100)矽單晶的光電化學腐蝕研究:Photo-Electrochemical Corrosion on the n-type (100) Silicon Single Crystal
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
16:3 2002.09[民91.09]
- 頁 次:
頁209-218
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
242 2002.06[民91.06]
- 頁 次:
頁46-55
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題 名:
SF[feb8]-O[feaf]氣體的非等向性矽蝕刻技術:Anisotropic Dry Ething Technology of Silicon Using SF[feb8]-O[feaf]Gas
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
83 2003.09[民92.09]
- 頁 次:
頁73-78
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
47 1994.09[民83.09]
- 頁 次:
頁23-29
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題 名:
光電化學蝕刻製作矽質微米連續壁結構:Formation of Macro-wall Array on Silicon by Photo-electrochemical Etching
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
19:3 民94.09
- 頁 次:
頁351-359
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26:3 2012.09[民101.09]
- 頁 次:
頁117-122
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
118 2012.06[民101.06]
- 頁 次:
頁13-19
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
118 2012.06[民101.06]
- 頁 次:
頁27-32
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題 名:
n-型(100)矽單晶巨孔洞之電化學研究:Electrochemical Study in the Formation of Macro-pores on n-type Si(100)
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18:4 2004.12[民93.12]
- 頁 次:
頁363-374
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
249 2004.06[民93.06]
- 頁 次:
頁19-26
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題 名:
矽深蝕刻中RIE LAG效應之消除:Eliminating of RIE LAG Effect in Deep Silicon Etching
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
87 2004.09[民93.09]
- 頁 次:
頁55-60
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18:3 2004.09[民93.09]
- 頁 次:
頁249-258
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
120 2012.12[民101.12]
- 頁 次:
頁19-27
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
19:1 民94.03
- 頁 次:
頁83-89