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以實驗設計法探討電漿參數對其製備氟碳膜性質之影響:Influence of Plasma Parameters on the Properties of Fluorocarbon Films Prepared by Using Design of Experiments
劉志宏 沈家志 魏大欽
機械工業
475 2022.10[民111.10]
頁22-31
TCI引用統計