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題 名:
離子濺鍍法成長矽碳氮薄膜及其機械性質研究:Ion Beam Sputtered Growth and Mechanical Properties of SiCN Films
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
33:1 2001.03[民90.03]
- 頁 次:
頁38-43
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:10=103 2001.10[民90.10]
- 頁 次:
頁190-197
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
10 民92.07
- 頁 次:
頁9-15
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26 民95.05
- 頁 次:
頁7-12