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題 名 | 科學園區空氣污染物排放特性之探討=Study on the Characteristics of Air Pollutants Emission in Science-based Industrial Park |
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作 者 | 張書豪; 張木彬; | 書刊名 | 國立中央大學環境工程學刊 |
卷 期 | 6 1999.12[民88.12] |
頁 次 | 頁215-228 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 半導體製造業; 揮發性有機污染物; 全氟化物; Semiconductor manufacturing; VOCs; Perfluorinated compounds; |
語 文 | 中文(Chinese) |