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來源資料
表面技術雜誌
153 1995.05[民84.05]
頁75-89
金屬工藝
>
腐蝕及保護;表面處理
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題 名
如何減少陰極電弧電漿沈積薄膜上的微粒
作 者
趙浩勇
;
何主亮
;
陳克昌
;
書刊名
表面技術雜誌
卷 期
153 1995.05[民84.05]
頁 次
頁75-89
分類號
472.16
關鍵詞
陰極電弧電漿沉積技術
;
沈積薄膜
;
CAPD
;
語 文
中文(Chinese)
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