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題名 | 電磁式微致動器之研究= |
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作者 | 柯春旭; 林育生; 楊詔中; 高端環; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 19990800 |
卷期 | 197 1999.08[民88.08] |
頁次 | 頁110-116 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微機電系統; 微致動器; 電磁式; MEMS; Microactuator; Electro-magnetic; ANSYS; |
中文摘要 | 電磁式微致動器具有致動力大、頻率適中與消耗功率適中等特性,在應用上,具 有相當大的發展潛力。在本研究中,提出了電磁式微致動器的設計及製作方法,並建立其電 磁場有限單元分析模型,進行磁場強度與磁力的計算,探討平面線圈、導磁材料及二者間的 搭配設計等幾何尺寸,對磁力的影響,並配合高深寬比平面線圈、可動微結構及導磁塊的製 程技術,進行電磁式微致動器的研究與開發。 |
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