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題名 | FFU在垂直層流無塵室應用之特性=The Characteristic of FFU in Vertical Laminar Cleanroom |
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作者 | 李延青; Lee, Yang-chin; |
期刊 | 中國冷凍空調雜誌 |
出版日期 | 19981200 |
卷期 | 41 1998.12[民87.12] |
頁次 | 頁87-97 |
分類號 | 446.6 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 無塵室; 風機-濾網機組; FFU; Fan filter unit; |
中文摘要 | 本文以FLOVENT流場數值模擬軟體,針對FFU風量循環系統,考慮無塵室內並無製 程作業與設備(為建造狀態下),以系統氣流速度場和壓力場,探討在給定FFU用風機性能 曲線與系統內不同之件(HEPA或ULPA過濾器及高架孔洞地板)尺寸及規格搭配下,分析在過 濾器出口位置及工作高度位置下之流場均勻狀況;無塵空間內壓力值;並同時模擬出每一支 FFU在此條件下之操作點及其粍能。 建立垂直層流無塵室之最重要元件,除應選用足夠粒子捕集效率之HEPA或ULPA過濾器外,就 是須採用低開孔率(10%)之高架地板;另外過濾器之壓降是決定無塵空間內氣流場均勻程 度之指標,在低開孔率高架地板之使用前提下,高阻抗過濾器(△P��=196V��)可保證無塵 空間內所有點的風速全部都可以在平均風速±10%範圍內,相對的若採用低阻抗過濾器( △P��=104V��)則只保證在平均風速±20% 內,但其使用供氣室和回風室的高度卻可以較低 。 |
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