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題名 | X-Y平檯之次微米精密定位控制研究 |
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作者姓名(中文) | 黃識忠; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 188 1998.11[民87.11] |
頁次 | 頁199-210 |
分類號 | 448.942 |
關鍵詞 | 定位; 摩擦力; 強健控制; X-Y平檯; Positioning; Friction; Robust control; X-Y table; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 製造業對伺服機構的定位精度要求不斷提高,以增加產品的附加價值,目前工業 界以採用 X-Y 平檯作為線性運動伺服系統最為普遍,因此,如何提升 X-Y 平檯的次微米精 密定位精度及性能為目前急須進行研究的課題。 當精度要求提高時,控制系統不易滿足性能要求,其主要原因在於以往忽略的非線性元件、 現象及不確定因素,已經無法再忽略,並且對於這些不良影響所知相當有限,而無法採取良 好對策,本文即是針對這些物理現象加以研究,以實驗結果深入淺出展現其動態特性。並採 用強健控制器進行定位控制,在此控制器控制之下,定位精度達到 0.1 μ m。 |
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