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來源資料
科儀新知
20:5=109 1999.04[民88.04]
頁45-56
電機工程
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電燈廠
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SU-8厚膜光阻於微系統UV-LIGA製程的應用
第1筆 /總和 24 筆
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題 名
SU-8厚膜光阻於微系統UV-LIGA製程的應用
作 者
楊啟榮
;
羅國軒
;
黃奇聲
;
強玲英
;
書刊名
科儀新知
卷 期
20:5=109 1999.04[民88.04]
頁 次
頁45-56
分類號
448.57
關鍵詞
SU-8厚膜光阻
;
微系統UV-LIGA
;
語 文
中文(Chinese)
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