查詢結果分析
相關文獻
頁籤選單縮合
題 名 | Design and Fabrication of Microsensors using Standard CMOS IC Process=利用標準CMOS積體電路製程技術製作微感測器 |
---|---|
作 者 | 戴慶良; 張培仁; 王建鎮; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 18:3 1997.06[民86.06] |
頁 次 | 頁283-291 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 積體電路; 製程技術; 微感測器; CMOS; Microsensors; Accelerometer; Pressure sensor; |
語 文 | 英文(English) |