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題名 | 奈米級即時定位控制系統研究= |
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作者 | 葉賢基; 潘小晞; 倪維斗; |
期刊 | 真空科技 |
出版日期 | 19981200 |
卷期 | 11:3/4 民87.12 |
頁次 | 頁4-10 |
分類號 | 446.8401 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 奈米定位控制系統; |
中文摘要 | 我們由於ASTROD雷射太空力學研究計畫、新質量標準研究計畫以及奈米計量標準 研究計畫,開始發展奈米級雷射測長與即時定位控制系統。系統組成分為雷射干涉儀系統、 精密微動平台系統、VMEbus內嵌式電腦系統以及真空系統。我們將中點週期平均法用於即時 測長,並進一步發展成即時定位控制系統。實驗結果顯示在12μm的驅動控制範圍內,X、Y 軸的定位誤差最小可達1nm,而z軸的轉角誤差小於2x10□rad。 |
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