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題 名 | 跨世紀臺灣機械工業展望 |
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作 者 | 蔡新源; 王建彬; | 書刊名 | 產業論壇 |
卷 期 | 1 2000.01[民89.01] |
頁 次 | 頁43-56 |
分類號 | 555.8 |
關鍵詞 | 工具機; 半導體設備; 奈米工程; 微機電系統; Machine tool; Semiconductor equipment; Nano-engineering; Micro electro-mechanical system; MEMS; |
語 文 | 中文(Chinese) |