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題名 | Contact Force Experiments and Deformation Analyses of a Cobra Needle Used in Vertical Wafer Probe Card=垂直式晶圓探針卡之探針接觸力實驗與變形分析 |
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作者姓名(中文) | 邱進東; 張達元; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 42:5 2021.10[民110.10] |
頁次 | 頁501-507 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | Wafer testing; Vertical wafer probe card; Contact force; Image processing; Finite element analysis; |
語文 | 英文(English) |