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題 名 | The Study on the Fabrication of Nanostructure and Nanomold by Nano-oxidation and Hydrofluoric Acid Etching on TiAlN Thin Film=以奈米氧化術與氫氟酸蝕刻在氮化鈦鋁薄膜進行奈米結構與奈米模具製作之研究 |
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作 者 | 黃仁清; 薛丞碩; 張桂嘉; 詹欣銘; 劉懷翔; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 34:4 2013.08[民102.08] |
頁 次 | 頁353-359 |
分類號 | 472.22 |
關鍵詞 | Atomic force microscopy; Nano-oxidation; Wet etching; TiAlN; Polydimethysiloxane; PDMS; |
語 文 | 英文(English) |