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題 名 | High Transparent ITO/Ag Based Electrodes with Ag Midlayer under O₂/Ar Plasma Exposure=應用臨場氧/氬氣電漿處理銀薄膜之高品質係數氧化銦錫/銀多層透明電極 |
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作 者 | 彭政雄; 張博學; 王政穎; 陳邦旭; | 書刊名 | 明新學報 |
卷 期 | 44:2 2021.12[民110.12] |
頁 次 | 頁1-17 |
分類號 | 468.7 |
關鍵詞 | 銦錫氧化物; 銀; 濺射沉積; 透明電極; 臨場電漿處理; Indium tin oxide; Silver; Sputtering system; Transparent conductive electrode; In-situ plasma; |
語 文 | 英文(English) |