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來源資料
新新季刊
49:3 2021.07[民110.07]
頁185-193
精密機械工藝
>
測定儀器
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題名
氮化鎵氣體感測元件研製及其感測特性初步分析=A Preliminary Analysis on the Fabrication and Sensing Characteristics of GaN-based Gas Sensing Devices
作者
許智超
;
簡儀欣
;
郭家甫
;
張維珉
;
書刊名
新新季刊
卷期
49:3 2021.07[民110.07]
頁次
頁185-193
分類號
471.3
關鍵詞
氮化鎵
;
氣體感測
;
二維電子氣
;
一氧化碳
;
GaN
;
Gas sensing
;
2DEG
;
Carbon oxide
;
語文
中文(Chinese)
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