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題名 | 碳化矽原料合成法與單晶生長應用=The Synthesis Methods of Silicon Carbide Powder and Its Application in the Growth of SiC Single Crystalline |
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作者 | 柯政榮; 陳學儀; 郭志偉; 黃俊彬; 戴嘉宏; 趙英琮; Ko, Cheng-jung; Chen, Hsueh-i; Kuo, Chih-wei; Huang, Jun-bin; Tai, Chia-hung; Zhao, Ying-cong; |
期刊 | 新新科技年刊 |
出版日期 | 20210100 |
卷期 | 17 2021.01[民110.01] |
頁次 | 頁156-163 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 碳化矽; 物理氣相傳輸; 微管; 電阻率; Silicon carbide; Physical vapor transport; Micro-pipes; Resistivity; |