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題名 | 以直流脈衝電漿化學氣相沉積法蒸鍍DLC薄膜於氮氧化處理Vanadis 8工具鋼之特性研究=Investigation of the Characteristics of DLC Films on Oxynitriding-treated Vanadis 8 Tool Steel via DC-pulsed Plasma CVD Technique |
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作 者 | 張世賢; 溫昱丞; 陳建霖; 劉沖明; 賴育呈; 施力忠; | 書刊名 | 鑛冶 |
卷期 | 63:2=246 2019.06[民108.06] |
頁次 | 頁63-71 |
分類號 | 472.15 |
關鍵詞 | 電漿化學氣相沉積法; 類鑽碳膜; 氮氧化處理; Vanadis 8工具鋼; 拉曼光譜; 磨耗; PECVD; DLC; Oxynitriding treatment; Vanadis 8 tool steel; Raman spectroscopy; Wear; |
語文 | 中文(Chinese) |