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題名 | 運用熱致動壓阻感測振盪器實現高傳感效率之質量感測器= |
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作者 | 劉廷淵; 李昇憲; Liu, Ting-yuan; Chu, Chia-chun; Li, Ming-huang; Liu, Chun-you; Lo, Cheng-yao; Li, Sheng-shian; Li, Ming-huang; Chu, Chia-chun; Liu, Chun-you; Lo, Cheng-yao; |
期刊 | 微系統暨奈米科技協會會刊 |
出版日期 | 20171200 |
卷期 | 38 2017.12[民106.12] |
頁次 | 頁25-30 |
分類號 | 448.533 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 高Q值; 熱致動壓阻感測; 振盪器; 高良率製程; 相位雜訊; 質量感測器; CMOS-MEMS; |