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題名 | 曲面光束筆微影技術應用於網格結構之無縫滾筒模仁的製作與滾印結果=Fabrication of Seamless Roller Mold with Meshes Structure Using Curved Beam-Pen Lithography and Result of Roller Imprinting |
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作者 | 李永春; 溫宗倫; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 20150900 |
卷期 | 390 2015.09[民104.09] |
頁次 | 頁38-54 |
分類號 | 448.533 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 無光罩曲面光束筆微影技術; 光阻噴塗系統; 無接縫滾筒模仁; Mask-less curved surface beam-pen lithography; Spray photo-resist coating system; Seamless roller mold; |