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題名 | 用離子束濺鍍系統鍍製含不同氧成分之氧化鋅鋁薄膜=AZO Thin Film Fabricated by Ion Beam Sputter Deposition in Various Partial Pressures |
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作者 | 徐進成; 陳譽云; 李俊逸; Hsu, Jin-cherng; Chen, Yun-yu; Lee, Chung-yi; |
期刊 | Fu Jen Studies. Science and Engineering |
出版日期 | 20120500 |
卷期 | 45 2012.05[民101.05] |
頁次 | 頁191-202 |
分類號 | 472.16 |
語文 | chi |
關鍵詞 | AZO透明導電膜; 離子束共鍍; 霍爾效應; AZO transparent conducting film; Ion-beam co-sputtering; Hall effect; |