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題名 | 全訊息三維電子斷層掃描顯像技術在奈米元件之應用=The Application of Advanced TEM 3D Tomography Technique in Nano-Device |
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作者 | 羅聖全; 賴明偉; 李世莉; 陳淑貞; 林麗娟; Lo, S. C.; Lai, M. W.; Lee, S. R.; Chen, S. J.; Lin, L. J.; |
期刊 | 工業材料 |
出版日期 | 20100100 |
卷期 | 277 2010.01[民99.01] |
頁次 | 頁70-79 |
分類號 | 440.2 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 訊息遺漏; 承載臺; 棒狀; 複合載臺; Missing wedge; Retainer; Rod shape; Complex holder; |