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來源資料
科儀新知
33:3=185 2011.12[民100.12]
頁33-45
工程學總論
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材料科學
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題名
真空薄膜技術研究發展=Development of Vacuum Technology for Thin Film Process
作者
蕭健男
;
柯志忠
;
林郁洧
;
邱柏凱
;
游智傑
;
書刊名
科儀新知
卷期
33:3=185 2011.12[民100.12]
頁次
頁33-45
專輯
先進薄膜技術專題
分類號
440.2
關鍵詞
薄膜材料製程
;
真空薄膜技術
;
鍍膜
;
語文
中文(Chinese)
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